Off-axis low-coherence interferometry for surface topology measurement.

Détails

ID Serval
serval:BIB_EB5840C5167A
Type
Actes de conférence (partie): contribution originale à la littérature scientifique, publiée à l'occasion de conférences scientifiques, dans un ouvrage de compte-rendu (proceedings), ou dans l'édition spéciale d'un journal reconnu (conference proceedings).
Collection
Publications
Institution
Titre
Off-axis low-coherence interferometry for surface topology measurement.
Titre de la conférence
Speckle 2010: Optical Metrology
Auteur⸱e⸱s
Delacrétaz Y., Boss D., Lang F., Depeursinge C.
Adresse
Florianopolis, Brazil, September, 13-15, 2010
ISBN
0277-786X
ISSN-L
978-0-8194-7670-8
Statut éditorial
Publié
Date de publication
2010
Volume
7387
Série
SPIE Proceedings
Pages
738715
Langue
anglais
Résumé
In this communication we introduce a low or reduced coherence interferometry technique that can be used to retrieve surface topology on samples with high roughness. Moreover, we will show that the approach enables surface topology measurement also at the interface of so-called turbid media, where multiple scattering inside tissues can be a major issue, preventing accurate measurements.
Web of science
Création de la notice
01/05/2013 17:32
Dernière modification de la notice
20/08/2019 17:13
Données d'usage